從上海硅酸鹽研究所獲悉，日前，20余臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳化硅晶體生產(chǎn)爐已成功穩(wěn)定生產(chǎn)高質(zhì)量碳化硅晶體。據(jù)碳化硅晶體項(xiàng)目部晶體生長組組長嚴(yán)成鋒介紹，自主研制新一代中用晶體爐可以打破發(fā)達(dá)國家技術(shù)壟斷，大大提升我國第三代半導(dǎo)體核心材料的自主研發(fā)生產(chǎn)能力。在項(xiàng)目部的一間測(cè)試實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，項(xiàng)目部薄膜與測(cè)試小組組長劉學(xué)超說，項(xiàng)目部研制的晶體材料，都需要在這些檢測(cè)機(jī)器上完成表征測(cè)試，并按照國際標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)晶體質(zhì)量的表征進(jìn)行逐項(xiàng)比對(duì)，確保每項(xiàng)數(shù)據(jù)都合格。隨著項(xiàng)目進(jìn)入關(guān)鍵階段，每天的質(zhì)量測(cè)試工作差不多有十幾個(gè)小時(shí)。

據(jù)介紹，當(dāng)上海硅酸鹽研究所承接國家第三代半導(dǎo)體核心材料碳化硅晶體自主研發(fā)項(xiàng)目時(shí)，讓很多從事這一領(lǐng)域的科研人員十分振奮，迅速由兩個(gè)相關(guān)課題組合并成為一個(gè)大項(xiàng)目部，來自上海、福建、河南、湖北、陜西等各個(gè)省市的研發(fā)團(tuán)隊(duì)中，70%以上的人都具有博士學(xué)位。嚴(yán)成鋒表示，現(xiàn)在，該項(xiàng)目部已經(jīng)掌握了從原料到晶體生長、加工、清洗、檢測(cè)直至用戶生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的全部技術(shù)。

來源：中國質(zhì)量報(bào)

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